设备分类编码: 010199

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 海燕

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>其他

规格型号: MA6

所属科研设施:

主要功能: 本设备可进行双面对准和曝光，双面对准精度2微米，可对30um以下厚胶曝光。硅片尺寸为5英寸、4英寸、3英寸。另外可以进行SU-8等厚胶光刻。

主要技术指标: 对准精度2微米

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 教授1人、副教授1人、工程师1人

服务的典型成果: 北京大学、中科院电子所

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 厚胶光刻(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):420.0、校外:600.0;