设备分类编码: 029900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 赠送

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 张晓丽

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>其他>>其他

规格型号: EVG620

所属科研设施:

主要功能: 可以进行单次曝光，单面套刻，双面套刻。

主要技术指标: 最小线宽1um 可以做正胶（1.2um  2.0um 5.0um  7.0um）双层胶（底层胶厚200nm）  负胶  25um  50um

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 属于李群庆教授带领的纳米中心测试加工平台，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业的实验员，还有纳米中心厂务部门支持仪器外部的水、电、气的供应。

服务的典型成果: 校内用户：物理系，化学系，航院，微电子所等；校外用户：北京大学，北京理工大学，苏州纳米所等。

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 曝光（普通胶）(元/小时)——校内(院内):300.0、校内(院外):300.0、校外:400.0;曝光（厚胶或双面曝光）(元/小时)——校内(院内):500.0、校内(院外):500.0、校外:600.0;