设备分类编码: 010199

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 赠送

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 张晓丽

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>其他

规格型号: NitrideEtch

所属科研设施:

主要功能: 设备配有排风管道，随时抽走挥发性的酸碱设备自动化程度高，可以控制温度并且监测温度能够自动和手动控制每个溶液槽操作细微调节水槽补水、放水、溢流时间面板式按钮操作，直观易操作

主要技术指标: 温控范围为小于70°C，腐蚀溶液为缓冲氢氟酸。

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 属于纳米中心测试加工平台，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业的实验员，还有纳米中心厂务部门支持仪器外部的水、电、气供应。

服务的典型成果: 校内用户：物理系

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 湿法刻蚀(元/小时)——校内(院内):200.0、校内(院外):200.0、校外:300.0;