设备分类编码: 030119

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 海燕

仪器所属类别: 计量仪器>>长度计量仪器>>扫描隧道显微镜

规格型号: Solver P47

所属科研设施:

主要功能: 定量测量样品表面形貌、硬度分布、摩擦力、附着特性、电势、电导、电荷、表面电容以及光学特性。最大样品尺寸：24*12mm，厚度10mm；样品台X/Y移动范围：5*5mm，精度5um；样品台升降范围：25mm；扫描器最大扫描范围：50um*50um。分辨率水平方向0.5nm，垂直方向0.1nm。

主要技术指标: 扫描器最大扫描范围：50um*50um。分辨率水平方向0.5nm，垂直方向0.1nm。

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 设备工程师：仲涛测试工程师：刘爱华

服务的典型成果: 邓宁：微电子所 伍晓明：微电子所 许军：微电子所 蔡坚：向电子所

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 测试费(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):126.0、校外:180.0;扫描探针显微镜测试(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):126.0、校外:180.0;