设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 赠送

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 张晓丽

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: L-400EK

所属科研设施:

主要功能: 正在完善中

主要技术指标: 1、本仪器使用电子束蒸发方式镀膜，可以蒸镀一般金属材料以及部分氧化物。 2、镀膜厚度：几个nm~数μm 3、真空腔室温度：23℃~250℃ 4、薄膜厚度均匀性在5%内

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 此机器由李群庆教授带领的具有一流的半导体工艺技术的团队、其中有刻蚀工艺多年的工艺工程师、对镀膜工艺有丰富的经验、此团队工作上认真负责、精益求精。 

服务的典型成果: 清华大学物理系、材料学院、航院、微纳电子系等院系，以及中科院、北京大学、北理工、北航等知名院校

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 蒸发贵金属（Au Pt Pd 60nm以上）(元/10nm)——校内(院内):200.0、校内(院外):200.0、校外:200.0;蒸发Ag W(元/小时)——校内(院内):1000.0、校内(院外):1000.0、校外:1100.0;蒸发普通金属及氧化物(元/小时)——校内(院内):700.0、校内(院外):700.0、校外:800.0;蒸发贵金属（Au Pt Pd 60nm以内）(元/小时)——校内(院内):1800.0、校内(院外):1800.0、校外:2000.0;