设备分类编码: 029900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 赠送

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 张晓丽

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>其他>>其他

规格型号: EVG520HE

所属科研设施:

主要功能: 能实施热键合，阳极键合，室温纳米压印，热压印

主要技术指标: 键合：热键合温度上限250度，压力10KPsi，真空度为10e-5Pa。阳极键合分段偏压上限10KV，压力压力10KPsi，真空度为10e-5Pa。常用光刻胶是SU8，PMMA等。也有有机硅之类。键合前需做表面预处理，建议自行提供键合参数，我们不负责键合工艺开发。 纳米压印：分模版的分辨决定压印光科胶图形分辨率，常见分辨率是50nm。模版需自行提供，工艺条件需自行提供，我们不提供工艺开发。

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 研究团队包含李群庆教授，朱振东，安东，徐立国，张晓丽等。朱振东全面负责压印和键合的工艺整合与开发；安东负责工艺实施与检测；徐立国负责设备维护；张晓丽负责加工费用收支等实验相关问题。我们团队人员结构结构合理，在纳米压印领域包括模版的设计，制备，表面处理，脱模后处理等图形保真性转移有着丰富的经验，光刻胶合成技术等。已经把基于复制技术的纳米压印键合等取得多项美国授权专利，并把这些技术及时转化为实际生产力

服务的典型成果: 清华微电子所，清华生物工程系，中科院半导体所，中科院微电子所，北京大学微电子所

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 阳极键合(元/小时)——校内(院内):1200.0、校内(院外):1200.0、校外:1800.0;热键合(元/小时)——校内(院内):500.0、校内(院外):500.0、校外:1000.0;纳米压印(元/小时)——校内(院内):500.0、校内(院外):500.0、校外:1000.0;