设备分类编码: 010803

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 赠送

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 张晓丽

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>扫描探针显微镜

规格型号: Sirion200

所属科研设施:

主要功能: 热场发射电子枪，配EDAX能谱仪，高真空,系统稳定性好,分辨率高,可用于各种固体材料和器件的表面形貌分析与测量；以及材料的化学成份及相关成份分析。低电压性能稳定,特别适用于单壁碳纳米管等半导体材料的形貌表征.二次电子像有HR，UHR两种分辨率模式，能谱分析包括成分的点，线分布，面分布分析等。

主要技术指标: 型号：Sirion 200 加速电压：200V－30KV； 分辨率：10KV，1.5nm；1KV，2.5nm；EDAX 能谱仪：133eV，Be－U。 热场发射电子枪，配能谱仪，可用于各种固体材料的表面形貌分析与测量；用于材料的化学成份及相关成份分析。

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 属于纳米中心测试加工平台，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业的实验员，还有纳米中心厂务部门支持仪器的外部水，电，气的供应等。

服务的典型成果: 校内用户：清华大学物理系，化学系，核研院，微电子所等十几个院系；校外用户：北航，北理工，北科大，中科院微电子所，北京化工大学等

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 扫描电镜测试费(元/小时)——校内(院内):200.0、校内(院外):200.0、校外:300.0;STEM测试费(元/次)——校内(院内):100.0、校内(院外):100.0、校外:100.0;EDS测试费(元/次)——校内(院内):100.0、校内(院外):100.0、校外:100.0;