设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 郝艳梅

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: JBX-6300FS

所属科研设施:

主要功能:    电子束曝光机是一台加工设备，其加工目的是在电子束感光胶上制备出纳米级的结构。该设备电子的加速电压达到100KV，扫描速度12MHz，具有10个承片台；因此其具有加工精度高，速度快，自动化程度高等特点，从而具有比较高的工作效率。加工样品不需要掩膜版制备，使得图形能够灵活多变，非常适用于科研探索。

主要技术指标: 型号：日本电子JBX6300FS 加速电压：100KV 扫描频率：12MHZ 可加工最大样品：4英寸 对外服务加工精度：关键尺寸50nm以上

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 属于纳米中心测试加工平台，有完善的组织管理体系，有经验丰富的仪器维护管理工程师和专业实验员。还有纳米中心厂务部门支持仪器的外部水、电、气的供应。

服务的典型成果: 校内用户：电子系、微电子所、精仪系、材料系、物理系、航院等；校外用户：北京大学、上海交大、中科院半导体所、西安交大、武汉大学等。

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 电子束曝光（首机时）(元/小时)——校内(院内):1200.0、校内(院外):1200.0、校外:1200.0;电子束曝光(元/小时)——校内(院内):1000.0、校内(院外):1000.0、校外:1000.0;