设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 王进才

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: TFS200-106

所属科研设施:

主要功能: 制备氧化物，如氧化铪、氧化铝、氧化钛、氧化钽等，制备氮化物，如氮化钛、氮化钽等，精确到0.1纳米。

主要技术指标: 原子层淀积，功率4kW，载气：N2；生长精度：0.1nm，反应温度：25~500C，样品尺寸：20-200mm，生长方式：热沉积/等离子体生长；热源2个，温度25~300C；冷源3个。

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 设备管理：张志刚、窦维治工艺开发与服务：沈姗姗设备维护：田振

服务的典型成果: 北京大学电子系物理电子学研究所，香港中文大学，清华大学化学系，清华大学物理系纳米中心，清华大学微电子学研究所

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 原子层沉积(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):280.0、校外:400.0;