设备分类编码: 020399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 王进才

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>光电测量仪器>>其他

规格型号: UVISEL

所属科研设施:

主要功能: 用于测量光学薄膜厚度和光学参数。可测量介质SiO2、Si3N4、TiO2、HfO2、Ta2O5等光学薄膜以及多层膜的厚度与光学参数。单层膜或者复杂多层膜的膜厚测量范围为1A~ 40um；氙灯光源覆盖光谱范围：190nm~ 2100nm；可放置的样品厚度范围：1mm~20mm；样品台直径：150mm；标准光斑尺寸：1mm X 3mm。

主要技术指标: 单层膜或者复杂多层膜的膜厚测量范围为1舿 40um；氙灯光源覆盖光谱范围：190nm~ 2100nm；

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 设备工程师：仲涛测试工程师：刘爱华 

服务的典型成果: 许军：微电子所 王晓红：微电子所 王敬：微电子所 刘泽文：微电子所 李正操：材料系 陈炜：微电子所 任天令：微电子所 严清峰：化学系

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 薄膜厚度及折射率测量(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):210.0、校外:300.0;测试费(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):210.0、校外:300.0;