设备分类编码: 019900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 冻逸冰

仪器所属类别: 分析仪器>>其他>>其他

规格型号: MSP-3200T

所属科研设施:

主要功能: 主要用于溅射各类金属和氧化物薄膜；本设备有两个相互独立的腔室，可分别用于溅射金属和非金属类薄膜，每个腔室可以放置三块不同的靶材；样品尺寸：4寸及以下整片或碎片目前可溅射的材料如下：Al、Cu、Ti、SiO2

主要技术指标: 目前可溅射的材料如下：Al、Cu、Ti、SiO2

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 工艺工程师：韩冰  设备工程师：仲涛   工艺主管：伍晓明  设备主管：刘朋实验室主任：吴华强

服务的典型成果: 王喆垚(微电子所)、陈兢(北京大学)、何立平(中科院物理所)、严清峰(化学系)、许军(微电子所)、尤政(精仪系) 朱荣(精仪系)、张志勇(北京大学)、金传洪(浙江大学)

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 溅射(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):280.0、校外:400.0;溅射(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):280.0、校外:400.0;