设备分类编码: 010301

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 冻逸冰

仪器所属类别: 分析仪器>>X射线仪器>>X射线衍射仪

规格型号: Delta-x

所属科研设施:

主要功能: 高分辨测试时，可进行双轴测试和三轴测试，测试精度高。可通常倒易空间点阵测试样品微结构空间分布及应变状态，易可直接进行Relaxation scan，确定Relaxation 及其范围。可通过XRR测试，分析样品厚度。样品台可360度旋转，-3度-90度倾斜，入射角可达90度。

主要技术指标: 本设备为高分辨的X射线衍射仪，双轴晶下,衍射宽度小于11arcsec，可精确定位测试区域, 分辨率可达到10um。对于单晶样品，可进行Relaxation scan，可确定Relaxation 及其范围；亦可测试样品倒易空间点阵分布，得到微观结构的空间分布及缺陷。可通过XRR测试，分析样品厚度。亦可进行薄膜多晶衍射分析。样品台移动范围较大：X/Y : 100 mm，Z : 60 mm，R：360度连续旋转，T：-3度- 90度倾斜；样品台尺寸较大：直径65mm（最大可放置直径150mm圆片，样品最高40mm）

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 设备配有专人维护管理，由专业的工程师进行操作，设备厂家硬件工程师和应用工程师提供技术支持服务。

服务的典型成果: 华友化工、华力微电子

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 多晶XRD(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):185.0、校外:250.0;HRVRD Maping(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):315.0、校外:450.0;