设备分类编码: 010199

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 邢凯

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>其他

规格型号: NE-550H(F)

所属科研设施:

主要功能: 自动化操作，刻蚀方式： ICP模式；刻蚀精度：0.35微米；主要刻蚀介质：Si3N4、Si、POLY-Si、SiO2等材料.刻蚀尺寸：6英寸、4英寸。均匀性小于5%。

主要技术指标: 介电材料刻蚀：ICP模式；刻蚀精度：0.35微米

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 吴华强、伍晓明、刘朋、李希有、仲涛

服务的典型成果: 王喆垚、任天令、刘泽文、吴华强、梁仁荣、潘立阳、王敬、许军、邓宁、钱鹤、伍晓明（微电子所） 尤政、朱荣、阮勇（精仪系）、罗毅（电子系）、姚文清（化学系）

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 刻蚀(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):560.0、校外:800.0;送样刻蚀(小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):560.0、校外:800.0;