设备分类编码: 010203

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 李展平

仪器所属类别: 分析仪器>>质谱仪器>>同位素质谱仪

规格型号: TOF.SIMS 5

所属科研设施:

主要功能: 基本功能：    可用以表面下范围在2nm以内的最表层分析，能检测出包括氢(H)在内的所有元素及其同位素，对所有元素具有极高的检测灵敏度(ppm～ppb,因元素而异)，可检测痕量杂质，及微量掺杂对材料和器件性能的影响；能测定从表面到深至数十μm的微量元素及化合物浓度布；能观测各种元素及化合物的1D、2D、3D分布，具有很高的空间分辨率(＜100nm)；能分析绝缘材料；能鉴定有机化合物分子，对有机材料结构分析有独特的能力，适于分析大分子、超高分子量有机化合物，并能测定分子量；能取得单分子层表面结构信息。     &n

主要技术指标: 1 分析器：反射式质量分辨率：M/△M              ＞1100028SiH+              ＞16000 (＞200amu)    质量范围: ＞12000amu2 LMIG：Bi源最大能量：30keV最大电流：30nA最小束斑直径：＜100nm(Atomic), ＜80nm(Cluster)3 GCIB (Ar团簇离子枪)   能量范围：2.5～20keVCluster 大小：约2500（m=100000amu）4 O2+离子枪 (仅作溅射)离子能量范围：0.2～2keV5 Cs+离子枪(和O2+离子枪共享一个离子光学系统)离子能量范围：0.2～2keV6 带电中和低能电子枪能量：1-20eV可调 7 样品台：5维加热/冷却控温范围及精度：-150℃～600℃；±1℃8 E

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容:     仪器运行和管理人李展平高级工程师2005年被人才引进到清华大学分析中心，在国内外多年从事表面分析特别是TOF-SIMS的分析研究工作。

服务的典型成果: 半导体所 北京大学 北京邮电大学 北京有色金属研究总院 清华大学材料学院 核工业西南物理研究院 清华大学化学系 清华大学机械系 矿业大学 上海空间推进研究所 圣戈班研发（上海）有限公司 首都师范大学 信义玻璃 有色院 中国科学院半导体研究所照明研发中心 中国科学院大学 中科院宁波材料所

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 表面分析(元/小时)——校内(院内):600.0、校内(院外):600.0、校外:600.0;