设备分类编码: 020603

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [其他]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62788736

电子邮箱: yqgx@mail.tsinghua.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区中关村北大街

邮政编码: 100084

联系人: 冻逸冰

仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>探伤仪器>>超声探伤仪

规格型号: KSI SAM300

所属科研设施:

主要功能:     超声扫描显微镜主要用于检测并分析半导体封装技术开发中的元器件内部分层等缺陷，对X-ray不能分辨的裂纹及封装技术研发过程中粘接层、填充层、涂镀层、结合层通过无损扫描进行分析。

主要技术指标: 探头规格：15MHZ、 30MHZ、 75MHZ、 100MHZ、 150MHZ、 230MHZ、 400MHZ

安放地址: 北京市北京市海淀区中关村北大街

服务内容: 封装专区拥有相关先进仪器设备20余台套，多为进口设备，按功能主要分为：加工、测量/观察、环境可靠性测试及失效分析。部分设备面对校内外开放，可承担学校、科研单位和国内外企业的加工、测试及分析等技术服务与咨询。

服务的典型成果: 清华大学，北京大学，中科院微电子所，中科院电工所，中电11所

对外开放共享规定: 正在完善中...

参考收费标准: 低频探头15、30、75、100 、150MHz(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):560.0、校外:800.0;高频探头230MHz、400MHz(元/小时)——校内(院内):0.0、校内(院外):840.0、校外:1200.0;