设备分类编码: 010199

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0991-3666785

电子邮箱: yuxin@ms.xjb.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 于新

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>其他

规格型号: Summit 11k

所属科研设施:

主要功能: 主要用于完成晶圆或器件及集成电路测试。可与网络分析仪、半导体参数测试仪等连接使用，能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试（DWC）、失效分析（FA）、亚微米探测、MEMS和光学工程测量，能用作一个灵活的探头卡，实现wafer级的可靠性应用（WLR）。

主要技术指标: 1）X-Y轴位移：8寸； 2）分辨率：0.1um； 3）重复性精度：±2um； 4）移动速度：>50mm(2in.)/s； 5）低损耗微波ACP探头：≤0.25dB； 6）包含微波暗室设计，具有完整的系统分析软件。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: