设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 18689521220

电子邮箱: fwen323@163.com

通讯地址: 海南省海口市美兰区人民大道58号海南大学材料与化工学院

邮政编码: 570228

联系人: 文峰

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: uPG501

所属科研设施:

主要功能: 适用于微图形模板的设计和制作（比如可自行设计纳米小球图案），光罩的试制和直接进行描写的研究开发。精度高，可控性好。其功能涵盖光刻机的功能。

主要技术指标: 最小结构尺寸：1μm 地址网格[nm]： 100 刻写速度：50 mm²/min 边缘粗糙度 [3σ, nm]：120 线宽均匀度 [3σ, nm]： 200 对准精度[3σ, nm]：500 最大直写面积[mm x mm]：100 x 100 支持多种客户图形格式(DXF, CIF, GDSII, Gerber, STL)

安放地址: 海南大学分析测试中心107

服务内容: 表面微图形光模板的制作。兼顾曝光功能。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 按相关文件执行

参考收费标准: 根据加工制作要求确定