设备分类编码: 110199

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 徐波

仪器所属类别: 特种检测仪器>>射线检测仪器>>其他

规格型号: UNISPECS-2

所属科研设施:

主要功能: MBE是一种外延薄膜生长技术，通过把热蒸发产生的原子或分子束射到控制在一定温度的清洁衬底上而生成薄膜。 生长过程中可以通过精确控制各个蒸发源的蒸发温度、蒸发时间等参数，并结合各种原位监控手段，实现对外延薄膜的厚度、成分的控制，实现亚单原子层精度的生长。

主要技术指标: 样品台温度：-180~800°C；样品大小：10 mm；系统基本真空：10-10 mbar；蒸发源：有机蒸发源1个、金属蒸发源2个、高温蒸发源1个、电子束蒸发源1个。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: