设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 机械工程, 能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0373-3326331

电子邮箱: sgl1972@yahoo.cn

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联系人: 宋桂林

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: JGP560C

所属科研设施:

主要功能: 主要用于纳米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的研究开发。广泛应用于半导体行业、微电子及新材料领域。

主要技术指标: 真空室尺寸：溅射室 Φ500×280 进样室：Φ250×450 极限真空：溅射室 6.6×10-6Pa 进样室： 6.6×10-4Pa 磁控靶靶材尺寸：2×Φ603×Φ504×Φ604×Φ605×Φ60， 4×Φ1006×Φ60， 样品台形式：样品尺寸 Φ30 Φ30 Φ40 Φ40 Φ40，Φ75 Φ40，Φ100 运动方式：直线运动,往复回转,水冷，加热 加热温度：室温~600℃, 数显自动控制 ,可选自动控制功能：镀膜过程采用计算机控制，具有： (1)

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: