设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0335-8057047

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 柳忠元

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: Kurt J LESKER

所属科研设施:

主要功能: 薄膜沉积

主要技术指标: 1×10-7Torr；直流电源：500w Power Supply ；射频电源：300w Power Supply；三路气体：Ar，O2, N2。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: