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椭圆偏振光谱仪  (收藏)

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设备分类编码: 010499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学, 生物学, 药学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0930-8912500

电子邮箱: hugw@lzu.edu.cn

通讯地址: 兰州市天水南路249号

邮政编码: 730000

联系人: 胡国文

仪器所属类别: 分析仪器>>光谱仪器>>其他

规格型号: EP3

所属科研设施:

主要功能: 用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备

主要技术指标: 光学模式:消光椭偏仪 检偏精度:0.001deg (Delta and Psi)absolute accuracy 0.01deg 测厚相对误差:≥0.001 nm(SiO2 on Si) 成像系统:带高精度增强型CCD及光电感应模块CCD camera with 768 × 572 pixels 成像精度:≥1um 光源:包括激光模块和光谱模块。激光模块为红宝石固体激光光源,532nm/20mw。光谱模块:wavelengths: 365 to 1000 nm;bandwidth: ± 6 nm。 自动测角仪:角度范围40-90deg;分辨率0.001deg;绝对精度0.01deg。

安放地址: 兰州大学化学化工学院

服务内容: 样品测试

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: 80元/个



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