设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13754881640

电子邮箱: yqsbc1@nuc.edu.cn

通讯地址: 太原市学院路3号

邮政编码: 030051

联系人: 武文革

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: FJL-560a

所属科研设施:

主要功能: 可用于开发纳米级的单层/多层功能膜—各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等。镀膜方式有直流直位、射频直位溅射镀膜，多靶位直流共溅镀膜，以及离子束沉积镀膜。

主要技术指标: 极限真空度：≤6.67x10-6Pa (经烘烤除气后)； 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4Pa； 停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa

安放地址: 中北大学

服务内容: 制定中

服务的典型成果: 暂无

对外开放共享规定: 制定中

参考收费标准: 制定中