设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0931-8914160

电子邮箱: huali@lzu.edu.cn

通讯地址: 兰州大学齐云楼712室

邮政编码: 730000

联系人: 李华

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: LKJ-150

所属科研设施:

主要功能: 主要用于薄膜类样品的图形离子束刻蚀

主要技术指标: 离子束能量可调范围0-1KeV;有效束径≥100mm；极限压强≤8.5×10-5Pa

安放地址: 天水南路222号

服务内容: 薄膜类样品的微纳米图形加工技术

服务的典型成果: 面向物理学院，兰州大学，社会其他大专院校，科研院所开放测试。参与了多项国家基金，重大基金的科研工作.

对外开放共享规定: 提前一周预约

参考收费标准: 400元/时