设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13934221669

电子邮箱: yqsbc1@nuc.edu.cn

通讯地址: 太原市学院路3号

邮政编码: 030051

联系人: 张斌珍

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: EVG-610TB

所属科研设施:

主要功能: 功能：用于微结构的光刻工艺，键合前的对位。

主要技术指标: 1双面对准 正面对准精度：1.0um；0.5um (R&D) 基片找平方式：自动找平 2可后续升级用于键合机之键合对位对准,并与对应之键合夹具兼容 3. 分辨率：0.8微米（真空接触） 4. UV光源：350W或以上汞灯，恒光强、恒功率控制 5. 曝光光路：350-450nm波长曝光 6. 顶部对准显微镜 7.双视场光学显微镜 8.配备一套5X，10X物镜，其中5X物镜上、下对位可以通用

安放地址: 中北大学

服务内容: 制定中

服务的典型成果: 暂无

对外开放共享规定: 制定中

参考收费标准: 制定中