设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0931-8914160

电子邮箱: guodw@lzu.edu.cn

通讯地址: 兰州大学物理学院

邮政编码: 730000

联系人: 郭党委

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: JSM-6610

所属科研设施:

主要功能: 该扫描电镜经改装与图形发生器、束闸控制器和特制样品台配合使用可完成电子束曝光功能，用于器件样品的微纳米加工

主要技术指标: 图像分辨率3nm；电子束曝光分辨率100nm；场际拼接精度150nm；套刻精度150nm

安放地址: 天水南路222号

服务内容: 薄膜类样品的微纳米图形加工技术

服务的典型成果: 面向全国各科研院所开放共享，参与了本学院相关国家基金项目的科研工作

对外开放共享规定: 加入大型仪器共享平台，校内外共享，需提前一周预约。

参考收费标准: 400元/小时