设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0351-3920330

电子邮箱: yqsbc1@nuc.edu.cn

通讯地址: 太原市学院路3号

邮政编码: 030051

联系人: 梁庭

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: 无

所属科研设施:

主要功能: 为洁净室的半导体加工设备，如ICP、氧化扩散炉、PECVD、磁控溅射仪、纳米团簇、光刻机、晶圆键合机等提供气体需求。

主要技术指标: 洁净室特气系统主要包括特气供气设备（气瓶柜、气瓶架、分流箱和分流盘）、特气监控系统（气体检测器、气体监控控制箱、声光报警、紧急开关、电脑工作站）、特气输送管道和尾气处理系统（加热水洗式尾气处理器）等部分

安放地址: 中北大学

服务内容: 制定中

服务的典型成果: 暂无

对外开放共享规定: 制定中

参考收费标准: 制定中