设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 18135111964

电子邮箱: yqsbc1@nuc.edu.cn

通讯地址: 太原市学院路3号

邮政编码: 030051

联系人: 王任鑫

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: SI500D

所属科研设施:

主要功能: 在开展新原理、新材料特种微纳传感器件的研制工作中，薄膜材料的淀积对于器件性能起着决定性的影响。因此，建立微纳机电薄膜材料淀积系统，完成可靠复合薄膜淀积是十分重要且必要的。而本次采购的等离子体增强化学气相沉积系统集成多种常见薄膜材料的淀积，如SiO2，SiN，SiC，多晶硅等，对微纳机电器件加工工艺有着重要作用。

主要技术指标: SI500D突出优点是采用平板三螺旋天线PTSA电感耦合等离子体ICP源和背部有氧气冷却系统的下电极，最大样片直径8吋。ICPECVD感应耦合等离子增强化学气相沉积系统SI500D满足高端工艺要求，适用于器材的生产和研发应用。SI500D在基于硅烷的沉积工艺中具有出色的性能。

安放地址: 中北大学

服务内容: 制定中

服务的典型成果: 暂无

对外开放共享规定: 制定中

参考收费标准: 制定中