设备分类编码: 120304

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13753147280

电子邮箱: yqsbc1@nuc.edu.cn

通讯地址: 太原市学院路3号

邮政编码: 030051

联系人: 马宗敏

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电子产品通用工艺实验设备

规格型号: Elphy Plus

所属科研设施:

主要功能: 电子束光刻系统，又称图形发生器，作为扫描电子显微镜的附件增加到系统中，进行图形设计、绘制、数据转换，然后控制扫描电子显微镜中的电子束进行电子束光刻，在光刻胶上曝光出微纳米结构。 电子束光刻系统主要用于微纳米结构的加工制作，广泛应用于物理、电子工程、光学、微电子、半导体等科研领域。

主要技术指标: 1.最小特征尺寸≤10nm，适合4”及以下样品 2.具备沉积、刻蚀、探针、EDX、固定束移动工作台（长路径零拼接快速曝光模式），纳米操纵等功能

安放地址: 中北大学

服务内容: 制定中

服务的典型成果: 暂无

对外开放共享规定: 制定中

参考收费标准: 制定中