设备分类编码: 010102

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13485350603

电子邮箱: yqsbc1@nuc.edu.cn

通讯地址: 太原市学院路3号

邮政编码: 030051

联系人: 唐军

仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>扫描电镜

规格型号: Beam blanker

所属科研设施:

主要功能: 扫描电镜束闸的主要功能是扫描电镜电子束曝光过程中，对电子束进行有效的、快速的切断，减小残余电压，提高电子束光刻精度。该产品为扫描电镜升级电子束光刻系统的配件设备，具有设备对应性、专一性。

主要技术指标: 能够在电子束曝光过程中快速、有效地控制电子束的通断，通断频率为200kHz。

安放地址: 中北大学

服务内容: 制定中

服务的典型成果: 暂无

对外开放共享规定: 制定中

参考收费标准: 制定中