设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

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仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: Lab18

所属科研设施:

主要功能: 该设备属于物理沉积，没有化学反应，产生的薄膜可达微米级。该系统具备磁控溅射（直流和射频均有）和电子束蒸发的组合功能。这种组合系统极大地扩展了沉积功能，性能价格比超高，是新材料、新技术研究人员的关键技术手段！该系统是国外太阳能吸收、反射涂层制备的核心制备工具，具有极高的使用率。该系统是提供多种金属的沉积和表征设备，可产生几乎任何元素或合金材料的粒径可选的精确粒子束。该系统可制备常规镀膜设备无法实现的尺寸薄膜。可用于在室温下难以沉积的材料上如未处理的聚四氟乙烯和玻璃上产生高度附着力的薄膜材料。薄膜沉积控制：沉

主要技术指标: 测量范围350-2000 nm，分辨率0.5 nm；薄膜均匀性±2%；全量程真空计可测量从大气到10-10Torr；基片加热到550oC

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: