设备分类编码: 120299

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 研制

联系电话: 0931-4968236

电子邮箱: jyhao@licp.cas.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 郝俊英

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>化工、制药工艺实验设备>>其他

规格型号: Φ650×H600

所属科研设施:

主要功能: 进行样件的表面处理及镀膜。

主要技术指标: 极限真空度：≤5×10-5Pa（经烘烤除气后）；系统漏率：停泵关机12小时后，溅射室真空度可达≤5Pa；工作真空：暴漏大气40min内可以抽至8×10-4Pa。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: