设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0931-4968117

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联系人: 张广安

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: 空心阴极等离子体增强涂层沉积系统

所属科研设施:

主要功能: 等离子体浸没离子注入和直流脉冲等离子体化学气相沉积高速沉积各种碳膜

主要技术指标: 离子注入电压：≤ 20 kV　　离子注入电流：≤ 100 mA 　　　　气相沉积电压：≤ 2 kV　　　 脉冲频率：≤5KHz 　　　　真空度：<1×10-3 Pa

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: