设备分类编码: 120404

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [力学, 材料科学]

仪器设备来源: 研制

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联系人: 王鹏

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>热处理加工工艺实验设备

规格型号: MFD

所属科研设施:

主要功能: 0设备具有以下五种镀膜/辅助镀膜功能： 1.等离子体化学气相沉积（包括：微波电子回旋共振等离子增强化学气相沉积；射频等离子增强化学气相沉积；脉冲直流等离子增强化学气相沉积）；2.阴极磁过滤弧（2个）；3.磁控溅射镀膜（孪生靶，2个）；4.冷阴极气体离子辅助沉积；5.金属离子注入掺杂 用　　途：沉积各种硬质减摩抗磨薄膜

主要技术指标: 真空室尺寸：￠900 mm×700 mm，可镀工件最大尺寸：￠200 mm×200 mm，极限真空度：8×10-5Pa。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: