设备分类编码: 120404
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [力学, 材料科学]
仪器设备来源: 研制
联系电话: 0931-4968236
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联系人: 王鹏
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>热处理加工工艺实验设备
规格型号: MFD
所属科研设施:
主要功能: 0设备具有以下五种镀膜/辅助镀膜功能: 1.等离子体化学气相沉积(包括:微波电子回旋共振等离子增强化学气相沉积;射频等离子增强化学气相沉积;脉冲直流等离子增强化学气相沉积);2.阴极磁过滤弧(2个);3.磁控溅射镀膜(孪生靶,2个);4.冷阴极气体离子辅助沉积;5.金属离子注入掺杂 用 途:沉积各种硬质减摩抗磨薄膜
主要技术指标: 真空室尺寸:¢900 mm×700 mm,可镀工件最大尺寸:¢200 mm×200 mm,极限真空度:8×10-5Pa。
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: