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脉冲激光薄膜沉积系统  (收藏)

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设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0931-4968135

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 陕钰

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: PLD450a

所属科研设施:

主要功能: 该设备主要用于制备变工况(高低温交变、环境湿度等)条件下的环境自适应润滑复合涂层。可避免利用等离子喷涂和激光熔覆方法制备涂层对零件基体性能(如高温形变)的影响,而且可以精确控制涂层厚度。还可以实现多元素材料多层复合润滑涂层的结构设计,并能实现表面形状复杂而且对表面质量要求较高的工件的硬质耐磨涂层的涂覆。

主要技术指标: 波长:248nm; 脉冲能量:700mJ; 工作电压范围:18~27kV 平均功率:30W; 最大重复频率:50Hz; 脉冲宽度:25ns; 脉冲能量稳定性:1%; 光斑大小:24×10mm; 光束发散角:3×1mrad 极限真空度:2.2x10-5Pa (经烘烤除气后); 12小时漏气率4.0x10-1Pa;系统从大气下开始抽气,20分钟可达到1.1 x10-4Pa 四靶靶台,每块靶台可实现自转,转速5~60转/分,连续可调; 样品加热最高温度800℃± 1℃,持续转动加热1小时;基片与靶台之间距离30- 90mm可调

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



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