设备分类编码: 010103

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

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仪器所属类别: 分析仪器>>电子光学仪器>>电子探针

规格型号: JXA-8230

所属科研设施:

主要功能: 电子探针主要用来观察玻璃缺陷的微观形貌，分析缺陷的成因，它通过接收不同X射线强度计算出微区内元素组成含量，分析的元素可以覆盖玻璃组成的所有元素。

主要技术指标: 一. 技术规格 1. 电子光学系统 二次电子像分辨率：6nm 背散射电子像分辨率：20nm（拓扑像、成分像）, 成分分辨足以清晰分辨？ / ？黄铜 电子枪：钨丝发射枪，预对中灯丝 加速电压： 0 ～ 30kV 束流范围：10-5 ～ 10-12A 束流稳定度：≤±0.05%/h；±0.3%/12h 物镜光栏：四级可变光栏 物镜：超级小物镜 束流探测器：气动式法拉第杯 图像放大倍数：×40～×300,000，连续可调； 电子像的歧变：＜3% (＞400倍放大率), ＜5% (＜400倍放大率) 电子束位移：小于1μm/h（加速电压15keV，波谱仪在最大范围内移动时） 自动功能：自动聚焦；自动消像散；自动衬度/自动亮度调节功能；而且具有大焦深模式超大焦深模式 2. 波谱系统 分析元素：5B - 92U 分析精度：好于1%(主元素, 含量＞5%)和5%(次要元素, 含量～1%) 记数率的重复性(给定波长位置)：好于0.5% 峰位置重复性(同一分光晶体)：好于0.5% 峰位置重复性(交换分光晶体后)：好于1.5% 谱仪道数：3道 X射线出射角：40° 分光晶体类型：100mm谱仪晶体是全聚焦型；140mm谱仪晶体是半聚焦型；每道2个晶体 分光晶体交换：自动交换 罗兰圆半径：100mm和140mm两种 谱仪控制：异步控制和同步控制均可 分析速度：自动全元素定性分析时间≤60秒 3. 光学显微镜系统 类型：具有透、反光显微镜，透光模式带正交偏光。 分辨率：1μm 放大倍率：414 观察：CCD彩色相机 图像：可同时显示二次电子像、背散射电子像、彩色光学显微象，还可以得到上述图象的数字化像 焦深：焦深为1μm； 通过光学显微镜控制样品台：可以 4. 样品台系统 驱动方式：步进马达 样品台移动范围： X：90mm, Y：90mm, Z：7.5mm 样品台大小：100mm × 100mm × 50mm 样品台驱动速度： 15mm/s 5.真空系统 真空度：好于1.3？10-3 Pa 真空泵：分子泵＋机械泵抽气系统 抽真空时间：全系统 ≤20 min

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服务内容:

服务的典型成果:

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