设备分类编码: 029900
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [物理学, 化学, 机械工程, 航空、航天科学技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0351-3921602
电子邮箱: shiyunbo@nuc.edu.cn
通讯地址: 太原市学院路3号
邮政编码: 030051
联系人: 石云波
仪器所属类别: 物理性能测试仪器>>其他>>其他
规格型号: Axio Svope.A1
所属科研设施:
主要功能: 微器件台阶高度测试
主要技术指标: 横向:60mm,纵向范围:320μm,最高分辨率:0.01A
安放地址: 中北大学
服务内容: 台阶高度测试
服务的典型成果: 加工台阶测试
对外开放共享规定: 制定中
参考收费标准: 制定中