设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-2187739

电子邮箱: hanson_jiang@xmu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 蒋书森

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: L4131/ZM

所属科研设施:

主要功能: 主要MEMS器件制备过程中高质量的薄膜沉积

主要技术指标: 1.样品尺寸：4英寸； 2.真空度：4x10-4pa； 3.工作温度范围:350-1000°C；　　　　　 　　　　　　 4.最大薄膜生在厚度：Si3N4：500nm　　　　　　 Poly-Si：2μm 　　　　　　 SiO2：1μm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: