设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-2186890

电子邮箱: cbb81@xmu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 陈彬彬

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: L4513Ⅱ-53/2m

所属科研设施:

主要功能: 用于MEMS加工工艺过程中硅片氧化、扩散、合金、退火等工艺。

主要技术指标: 1.样品尺寸：4英寸； 2.工作温度范围：300-1200°C； 3.恒温区长度及精度：760mm/±1°C； 4.升温时间（室温升至1200°C)：≤60min； 5.最大可控升温速度：15°C/min； 6.最大降温速度：5°C/min； 7.最大升温功率：24KVA。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: