设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-2187739

电子邮箱: lijinsu2003@126.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 苏丽锦

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MA6BA6

所属科研设施:

主要功能: 用于MEMS加工工艺过程中的光刻过程，可满足4英寸以下片子的单、双面曝光。

主要技术指标: 1.分辨率1μm； 2.单面对准精度1μm，双面对准精度3μm ； 3.可用4英寸和5英寸掩膜版； 4.最大样品尺寸4英寸。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: