点击图片查看原图
微控四管扩散炉  (收藏)

价格: 暂无价格

暂无服务

立即购买   加入购物车   加入预约

推荐
记录

设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-2186890

电子邮箱: cbb81@xmu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 陈彬彬

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: L4513Ⅱ-53/2M

所属科研设施:

主要功能: 用于MEMS加工工艺过程中硅片氧化、扩散、合金、退火等工艺。

主要技术指标: 1.样品尺寸:4英寸; 2.工作温度范围:300-1200°C; 3.恒温区长度及精度:760mm/±1°C; 4.升温时间(室温升至1200°C):≤60min; 5.最大可控升温速度:15°C/min; 6.最大降温速度:5°C/min; 7.最大升温功率:24KVA。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准:



扫描二维码
关注“智创中国”
全球设备一手掌握。

服务支持 400-0660-652 周一至周日9:00-21:00 售后服务/投诉处理