设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0351-3920350

电子邮箱: wangrenxin@nuc.edu.cn

通讯地址: 太原市学院路3号

邮政编码: 030051

联系人: 王任鑫

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: JoN Wave 10

所属科研设施:

主要功能: 氧等离子体刻蚀光刻胶等有机物

主要技术指标: 系统有可紧急停机的安全按钮

安放地址: 中北大学

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 制定中

参考收费标准: 制定中