设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-2187739

电子邮箱: lijinsu2003@126.com

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 苏丽锦

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: ST222

所属科研设施:

主要功能: 主要运用于三维微结构的涂胶，可以避免出现涂胶时三维微结构深腔底部无法被光刻胶完全遮盖的现象。

主要技术指标: 1.在长有二氧化硅层的光片上, 用TI-Plating胶或者AZ1500胶(均由乙酸丙二醇甲酯稀释)，胶厚：5-10μm, 片内均匀性￡±10%，片与片间均值均匀性 ￡±5%； 2.结构性片子的均匀性测量, 用TI-Plating胶或者AZ1500胶(均由乙酸丙二醇甲酯稀释): 胶膜最薄处与胶膜最厚处比值在1:3 到1:4之间。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: