设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0592-2181583

电子邮箱: ylzhou@xmu.edu.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 周勇亮

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: BJD/FC2000

所属科研设施:

主要功能: 电子束蒸发镀膜系统。精确控制材料蒸气云分布，典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡，可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。

主要技术指标: 小型标准电子束蒸发镀膜系统，适合小规模生产和研发。 设备产能：2inch 晶圆，42；3inch 晶圆，17；100mm晶圆，13；150mm晶圆，5。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: