设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13069247528

电子邮箱: lidh@jlu.edu.cn

通讯地址: 吉林省长春市前进大街2699号

邮政编码: 130000

联系人: 李德辉

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: ABM/6/350/NUV/DCCD/M , 6英寸双面对准

所属科研设施:

主要功能: 紫外/深紫外光刻机是光电子、微电子、微机械加工和高分子化学等研究方向重要的工艺设备之一

主要技术指标: 1. 可应用于5mm2的样片到大于4英寸圆片双面光刻；2. 计算机控制操作系统，界面友好，操作简便；3. 显微镜对准系统物镜数值孔径大于3.0；4. 紫外光灯源波长范围350～400nm；5. 曝光光源功率不小于300W，光强不小于10mW/cm2；6. 4英寸范围光强均匀性 ≤#177;3%；7. 光刻分辨率 ≤ #177;0.5μm8. 正面对准精度≤ #177;0.5μm，背面对准精度≤ #177;1μm

安放地址: 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 开放时间:2016-07-18至2016-07-20 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00送样时间:2016-07-25至2017-07-26 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00

参考收费标准: 计时标准：按预约时间 校外：200/小时；0/样品 校内：150/小时；0/样品