设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13069247528

电子邮箱: lidh@jlu.edu.cn

通讯地址: 吉林省长春市前进大街2699号

邮政编码: 130000

联系人: 李德辉

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: CE-300I , *

所属科研设施:

主要功能: 感应耦合等离子高密度刻蚀机（ICP）是光电子、微电子、微机械加工和高分子化学等研究方向的重要工艺设备之一。

主要技术指标: 抗腐蚀大抽速机械泵和分子泵泵组，分子泵抽速不小于400L/s，真空度≤1#215;10－3Pa；射频发生器功率不小于300W，高等离子密度（gt;1#215;1011 cm－3）；温度可调下电极，腔室可承载6英寸基片；4英寸直径SiO2和有机聚合物刻蚀，表面不均匀度≤5%，陡直度≥85#176;

安放地址: 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 开放时间:2016-07-18至2016-07-20 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00送样时间:2016-07-25至2017-07-26 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00

参考收费标准: 计时标准：按预约时间 校外：400/小时；0/样品 校内：300/小时；0/样品