设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 15211044249

电子邮箱: duanhg@hnu.edu.cn

通讯地址: 湖南省长沙市岳麓区湖南大学物理与微电子科学学院

邮政编码: 410082

联系人: 段辉高

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: RAITH150-TWO

所属科研设施:

主要功能: 设备可实现高分辨电子束曝光,采用肖特基热场发射电子束源

主要技术指标: 最小特征尺寸<10nm ,加速电压20eV-30KV，束流5pA-20nA

安放地址: 化工院D楼一层

服务内容: 1.新型微纳米加工与制造. 2新型微纳米信息功能材料与结构。 3超高速纳米通信器件与系统 4微纳超敏传感与探测系统的制作、 5基于光电检测的纳米生物诊断器件与系统微纳能源器件与系统 6大面积光电功能表面的制造与应用

服务的典型成果: Yiqin Chen et al. Nano Letters, 2016 Zhengmei Yang et al. Advanced Optical Materials, 2016

对外开放共享规定: 按学校规定

参考收费标准: 800元/小时