设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 工程与技术科学基础学科]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0351-3920330

电子邮箱: liangtingnuc@163.com

通讯地址: 太原市学院路3号

邮政编码: 030051

联系人: 梁庭

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: GSE200

所属科研设施:

主要功能: 刻蚀 si

主要技术指标: 均匀性＜3%

安放地址: 中北大学

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 制定中

参考收费标准: 制定中