设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13069247528

电子邮箱: lidh@jlu.edu.cn

通讯地址: 吉林省长春市前进大街2699号

邮政编码: 130000

联系人: 李德辉

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: Dimension Icon-PT , *

所属科研设施:

主要功能: 光电器件样品表面形貌及表面粗糙度分析探测

主要技术指标: X－Y扫描范围：90 μm * 90 μmZ扫描范围：10 μmX－Y定位误差：≤0.15 nm（闭环） ≤0.10 nm（开环）Z传感器精度：35pm （RMS）

安放地址: 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 开放时间:2016-07-18至2016-07-20 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00送样时间:2016-07-25至2017-07-26 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00

参考收费标准: 计时标准：按预约时间 校外：200/小时；0/样品 校内：150/小时；0/样品