设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 13630586267

电子邮箱: zhangyt@jlu.edu.cn

通讯地址: 吉林省长春市前进大街2699号

邮政编码: 130000

联系人: 张源涛

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: CCS3X2FT , *

所属科研设施:

主要功能: 样品生长过程中，EpiCurve?TT原位监测系统可以检测薄膜的生长模式及其生长速率。研究领域：该套设备用于外延生长GaN，AlN，InN及其合金化合物半导体单晶薄膜材料及器件。

主要技术指标: 1. 最高生长温度：1300摄氏度2. 生长压力：100~600毫巴3. 托盘最大转速：300转/分钟4. 最大载气流量：20升/分钟

安放地址: 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 开放时间:2016-07-18至2016-07-20 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00送样时间:2016-07-25至2017-07-26 星期:1,2,3,4,5 时间:08：00 - 16：00

参考收费标准: 计时标准：按预约时间 校外：0/小时；1200/每片 校内：0/小时；900/每片