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金属有机物化学气相沉积设备  (收藏)

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设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 18643148800

电子邮箱: dongx@jlu.edu.cn

通讯地址: 吉林省长春市前进大街2699号

邮政编码: 130000

联系人: 董鑫

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: D180 , *

所属科研设施:

主要功能: 半导体薄膜生长

主要技术指标: 反应温度可达1000℃,红外光学探头测温,三区均匀性偏差在正负1℃以内,所制备的氧化物薄膜的厚度均匀性偏差在正负5%以内。

安放地址: 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定: 开放时间:2016-07-18至2016-07-20 星期:1,2,3,4,5 时间:08:00 - 16:00送样时间:2016-07-25至2017-07-26 星期:1,2,3,4,5 时间:08:00 - 16:00

参考收费标准: 计时标准:按预约时间 校外:0/小时;800/样品 校内:0/小时;500/样品



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